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ST-103A 手动探针台

ST-103A手动探针测试台是手动型探针台。它与测试仪连接后,主要用于各种半导体器件芯片的电参数测试,适用于科研分析、小批量生产及抽测。

工作台

工作台:采用导轨丝杠传动,手动操作,简单方便。


承片台

承片台:结构紧凑,手动完成Z向升降和θ向旋转
 
联系方式:020-38699788

□ 可测片径:3″、4″、5″、6″
 □ 工作台行程:154mm×154mm
 □ 工作台操作方式:手轮
 □ 承片台Z向行程:2mm
 □ θ向调节范围:±45 º
 □ 显微镜:双目体视、放大倍数14X~90X
 □ 照明:LED环形灯
 □ 上、下片方式:手动方式
 □ 外形尺寸: 600mm(D)×460mm(W)×510mm(H)
 □ 设备重量: 约50Kg
 
 特殊配置
 □ 可配高倍率显微镜(可选);
 □ 可加装视频显示系统(可选)
 □ 可配电磁屏蔽柜(可选)
 □ 可配8″吸片盘、加热温控吸片盘(可选)
 使用环境
 □ 电源:AC220V±22V 50Hz
    真空:-80KPa
 □ 流量: 0.5L/S
 □ 环境温度: 15℃~30℃
 □ 相对湿度: <60% 
ST-103A 手动探针台
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ST-103A 手动探针台

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