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TZ-803A自动探针台

TZ-803A自动探针测试台是针对集成电路、半导体分立器件的中测设备,兼容5-8英寸晶圆。具备自动扫描、自动对准、自动测试等功能。它与测试仪连接后,能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。





承片台
全新的四轴支撑设计,满足大行程、高精度、高刚性测试需求。


自动传输系统
晶圆自动传输系统由片盒承载台、关节机械手和预对准系统三部分组成。是全自动探针台的主要组成部分,具有良好的载片可靠性,预对准速度、精度高等特点。


图像自动对准系统
自主研发的CCD自动扫描对准系统,扫描对准精度高、速度快。


显微镜观察系统
采用新型结构的显微镜观察系统,可实现三维调节,更加贴近实际的测试需求。


界面显示
Windows友好界面,测试状态实时显示,简洁明了,便于使用。

 


联系方式:020-38699788
 





可测片径: 5″、6″、8″
步距范围:0.005mm~100mm
工作台最大行程:240mm×300mm
工作台最大速度:200mm/s
定位精度:≤±0.005mm/200mm
步进分辨率:0.001mm
承片台Z向行程:30mm
Z向重复精度:≤±0.003mm
Z向分辨率:0.001mm
θ向调节范围:±5 º
自动对准精度:±0.005mm
上、下片方式:手动或自动方式
外形尺寸(宽×深×高): 1035mm×1276mm×1500mm
功率:1Kw

TZ-803A自动探针台
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TZ-803A自动探针台

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